29.045 Полупроводниковые материалы

• ГОСТ 19014.0-73 — Кремний кристаллический. Общие требования к методам химического анализа
• ГОСТ 19014.1-73 — Кремний кристаллический. Методы определения алюминия
• ГОСТ 19014.2-73 — Кремний кристаллический. Методы определения железа
• ГОСТ 19014.3-73 — Кремний кристаллический. Методы определения кальция
• ГОСТ 19014.4-73 — Кремний кристаллический. Методы определения титана
• ГОСТ 19658-81 — Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия
• ГОСТ 2169-69 — Кремний технический. Технические условия
• ГОСТ 22265-76 — Материалы проводниковые. Термины и определения
• ГОСТ 22622-77 — Материалы полупроводниковые. Термины и определения основных электрофизических параметров
• ГОСТ 26239.0-84 — Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа
• ГОСТ 26239.1-84 — Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей
• ГОСТ 26239.2-84 — Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора
• ГОСТ 26239.3-84 — Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора
• ГОСТ 26239.5-84 — Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей
• ГОСТ 26239.6-84 — Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана
• ГОСТ 26239.7-84 — Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота
• ГОСТ 26239.8-84 — Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
• ГОСТ 4.64-80 — Система показателей качества продукции. Полупроводниковые материалы. Номенклатура показателей
• ГОСТ Р 71334-2024 — Структуры эпитаксиальные. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире на основе инфракрасной интерференции
• ГОСТ Р 71380-2024 — Пластины полупроводниковые и диэлектрические. Метод контроля закругленности края
• ГОСТ Р 71422-2024 — Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия на основе сферического шлифа
• ГОСТ Р 71645-2024 — Кремний полупроводниковый. Метод измерения концентрации примесей
• Проект ГОСТ — Кремний кристаллический. Общие технические условия
• Проект ГОСТ Р — Микросхемы интегральные. Аналого-цифровые преобразователи. Методы измерения времени преобразования