ГОСТ 26239.8-84 — Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

• Тип и номер: ГОСТ 26239.8-84
• Наименование: Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
• Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS. Ограничение срока действия снято: Протокол № 7-95 МГС от 01.03.95 (ИУС 11-1995)
• Утвержден: Госстандарт СССР; Комитет стандартов, мер и измерительных приборов при Совмине СССР, 13.07.1984
• Текст документа: присутствует
• Изображение документа: отсутствует