ГОСТ 8.592-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Тип и номер: ГОСТ 8.592-2009
Наименование: Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Комментарии: Межгосударственный стандарт введен в действие для добровольного применения в межгосударственных отношениях. Идентичен и имеет одинаковую силу на территории РФ с введенным ранее в действие ГОСТ Р 8.628-2007. (Приказ № 56-ст от 05.04.2010 г. Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии) (ИУС 8-2010)
Страниц в документе: 11
Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
Утвержден: Росстандарт; Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 05.04.2010
Текст документа:присутствует
Изображение документа:присутствует
Ключевые слова: размеры, длина, материал, формы, рельефные меры нанометрового диапазона, монокристаллический кремний, растровые электронные микроскопы, зондовые сканирующие атомно-силовые микроскопы