ГОСТ Р 8.659-2009 — Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

• Тип и номер: ГОСТ Р 8.659-2009
• Наименование: Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
• Страниц в документе: 15
• Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
• Утвержден: Росстандарт; Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 15.12.2009
• Текст документа: присутствует
• Изображение документа: присутствует
• Ключевые слова: средства измерений, спектральная чувствительность, ультрафиолетовое излучение, энергетическая яркость, сила излучения, нанофотолитография, синхротронное излучение

Документ рекомендован к использованию вместо:

• Р 50.2.014-2001 — Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в дефектоскопии, полиграфии и фотолитографии. Методика поверки