ГОСТ Р 8.640-2008 — Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Тип и номер: ГОСТ Р 8.640-2008
Наименование: Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Страниц в документе: 15
Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
Утвержден: Росстандарт; Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 26.03.2008
Текст документа: присутствует
Изображение документа: присутствует
Ключевые слова: средства измерений, энергетическая освещенность, спектральная чувствительность, ультрафиолетовое излучение, радиометр, фотолитография