ГОСТ Р 8.629-2007 — Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

• Тип и номер: ГОСТ Р 8.629-2007
• Наименование: Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
• Комментарии: Издание (декабрь 2010 г.)
• Страниц в документе: 15
• Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
• Утвержден: Росстандарт; Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 21.05.2007
• Текст документа: присутствует
• Изображение документа: присутствует
• Ключевые слова: методика поверки, 2 из 5 чередующийся, рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп, лазерный интерферометр